这份文件是国际标准化组织(ISO)发布的关于洁净室和相关受控环境的第18部分标准,即ISO 14644-18:2023。该标准主要关注评估洁净室、清洁区域或受控区域中使用的消耗品(consumables)的适宜性,基于产品和工艺要求、清洁属性和功能性能属性。
内容概述
- 范围:本文件提供了评估个人和非个人消耗品在洁净室、清洁区域或受控区域内使用的建议,这些消耗品包括服装、手套、擦拭材料等。
- 规范性引用:提到了其他相关文件,如ISO 14644-1、ISO 14644-8、ISO 14644-9、ISO 14644-10等,这些文件中的部分内容构成了本文件的要求。
- 术语和定义:定义了与本文件相关的专业术语,如空气化学浓度(ACC)、适当使用、化学污染、清洁度、洁净室、洁净室适宜性、清洁区域、兼容性、消耗品、污染、控制区域等。
- 消耗品的描述和洁净室适宜性属性:描述了消耗品的两种类型:个人消耗品和非个人消耗品,以及它们的功能性能属性、清洁属性和特殊属性。
- 消耗品的预期用途:客户应记录消耗品的预期用途,包括功能性能属性、清洁属性和特殊属性(如适用)。
- 消耗品的使用:讨论了消耗品的单次使用和多次使用。
- 关注污染物:消耗品可能通过排放到空气中或通过接触转移到表面上造成污染。
- 洁净室适宜性评估的先决条件:描述了客户和供应商在进行洁净室适宜性评估时需要采取的步骤和考虑事项。
- 评估:评估消耗品的洁净室适宜性,包括初始比较、详细比较和实施。
- 文档记录:记录了评估过程中的所有相关文档,包括客户要求、供应商数据和评估结果。
附录部分提供了个人和非个人消耗品的示例、消耗品对洁净室清洁度水平影响的评估方法、测试方法和示例计算。
该标准旨在帮助供应商和客户评估洁净室消耗品的适宜性,确保它们在维持洁净室和受控环境中的清洁度方面发挥重要作用。