这份文件是国际标准化组织（ISO）发布的关于洁净室和相关受控环境的第17部分标准，即ISO 14644-17:2021。该标准主要关注在洁净室中，颗粒沉积速率的应用，以控制污染敏感活动。
内容概述
- 范围：本文件提供了测量洁净室中颗粒沉积速率的指导，作为污染控制计划的一部分，并提供了如何影响颗粒沉积速率以降低脆弱表面上污染风险的指导。
- 规范性引用：提到了其他相关文件，如ISO 14644-3:2019，这些文件中的部分内容构成了本文件的要求。
- 术语和定义：定义了与本文件相关的专业术语，如洁净室、洁净区、操作状态、颗粒、颗粒沉积速率（PDR）、颗粒沉积速率水平（PDRL）和目击板等。
- 符号：提供了用于颗粒沉积速率计算的符号和定义。
- 颗粒沉积速率方法：描述了如何使用颗粒沉积速率数据来建立在洁净室操作期间沉积到脆弱表面上的空气中颗粒的概率。
- 测量颗粒沉积速率：提供了测量颗粒沉积速率的方法，该速率是在已知时间周期内收集到的颗粒数量除以暴露时间。
- 颗粒沉积速率水平：描述了如何将颗粒沉积速率表达为一系列粒径的颗粒沉积速率水平。
- 文档记录：说明了测试的文档记录要求，包括测试组织名称、测试类型、测试条件、测试位置、测量仪器详情、测试结果等。
附录部分提供了有关颗粒沉积速率测量的额外信息，包括测量方法、测量仪器和目击板的选择、所需测量时间的计算、以及如何通过风险评估来建立洁净室的颗粒沉积速率控制。
该标准旨在确保通过测量和控制颗粒沉积速率，维持洁净室和受控环境中的空气质量，从而保护污染敏感的产品和工艺。
