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ISO 14644-2:2015 洁净室及受控环境 第2部分:通过粒子浓度提供洁净室性能相关空气洁净度的监测-苏州设施管理(现代后勤)产业标准化联盟

ISO 14644-2:2015 洁净室及受控环境 第2部分:通过粒子浓度提供洁净室性能相关空气洁净度的监测

这份文件是《ISO 14644-2:2015 洁净室及受控环境 第2部分:通过粒子浓度提供洁净室性能相关空气洁净度的监测》的国际标准。 内容概述 附录A(资料性)提供了制定监测计划时需要考虑的事项,包括风险评估工具的选择、所需性能和操作条件...

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